Kostenstruktur von Plasmaverfahren

Beschichtungskosten erscheinen im Falle von Plasmaprozessen auf den ersten Blick durch hohe Investitionskosten dominiert zu sein. Hier wird gezeigt, dass Betriebs- und Verbrauchskosten von gleicher oder groserer Bedeutung sein konnen. Zielfuhrend ist es, die Beschichtungskosten als einen Beitrag unter mehreren fur das Endprodukt zu verstehen. Das Beispiel Solarzellen zeigt, dass es sich kaum lohnt, die Beschichtungsprozesse weiter zu beschleunigen, wogegen aber eine kleine Effizienzsteigerung bereits deutliche Kostenvorteile bringt. Auch bei Hartstoffschichten zeigt sich, dass man nicht an den Anlagen sparen sollte, sondern versuchen muss, den Energieverbrauch zu senken und die Abscheiderate zu erhohen. Von den Beschichtungskosten her liegt man im gleichen Bereich wie bei Flussigphasenbeschichtungen, hat aber deutlich weniger Konfliktpotential mit den sich stetig verscharfenden Umweltauflagen (keine Bader zu entsorgen etc.). Das haufig vertretene Argument, dass die Einsparung von Pumpen beim Einsatz von Plasmen bei Atmospharendruck einen Kostenvorteil bietet, muss (gleiche Schichtqualitat unterstellt) relativiert werden, da die Betriebskosten deutlich hoher liegen, insbesondere, wenn als Schutz- und Tragergas Edelgase erforderlich sind.