Procede de traitement au plasma

Lorsqu'un film, par exemple, est forme apres prechauffage, la duree de prechauffage est courte. Les valeurs electriques qui passent par une bobine electromagnetique principale (26) et une bobine electromagnetique auxiliaire (27) pendant le prechauffage sont modifiees par rapport a celles utilisees pendant la formation du film, de sorte que la forme du champ magnetique produit varie. Pendant la formation du film, l'uniformite du champ magnetique est elevee et la densite du flux magnetique est faible tandis que, pendant le prechauffage, l'uniformite est faible et la densite du flux magnetique est elevee. En consequence, il est possible de former un film grâce a la creation d'une couche de plasma sensiblement uniforme sur la surface d'une plaquette (W). Pendant le prechauffage, bien que l'uniformite soit faible, une couche de plasma dont la densite est superieure que pendant la formation de films est creee, et par consequent, la quantite de chaleur transmise a la plaquette (W) est plus elevee qu'elle ne l'est pendant la formation du film, ce qui permet de raccourcir la duree de prechauffage.