Dispositif de traitement d'ondes acoustiques de surface et son procede de fabrication

1998 
Un dispositif classique de traitement d'ondes acoustiques de surface est constitue par un substrat piezo-electrique, une couche d'electrode creee sur le substrat piezo-electrique et divisee en doigts d'electrode, une barre omnibus reliant les doigts d'electrode en commun, et des plages d'electrode reliees a la barre omnibus. Quand on met en application ce dispositif dans un bande de haute frequence, l'epaisseur de la couche d'electrode est trop limitee et la largeur des electrodes est egalement trop limitee, ce qui pose un probleme de mauvaise resistance mecanique. La couche d'electrode du dispositif objet de l'invention consiste en au moins deux couches, par exemple, une couche contenant Ta et Al et une couche contenant Al ou un alliage a base d'Al et placee sur la premiere couche. Le rapport entre Ta et Al est tel que Ta represente 39 a 75 % atomique, ce qui permet d'ameliorer l'orientation d'Al ou de son alliage et, de ce fait, d'augmenter la resistance de la couche d'electrode.
    • Correction
    • Source
    • Cite
    • Save
    • Machine Reading By IdeaReader
    0
    References
    0
    Citations
    NaN
    KQI
    []