공정설비에서 발생되는 배기가스 처리 플라즈마 반응기

본 발명은, 플라즈마 반응기에 관한 것으로서, 공정 챔버에서 배출되는 배기가스를 분해하도록 공정챔버와 진공펌프 사이에 배치되는 플라즈마 반응기에 있어서, 상기 배기가스가 유동하는 도관; 상기 도관 상에 설치되는 제1 전극부; 상기 제1 전극부와 이격되어 배치되며, 상기 제1 전극부와 플라즈마 방전을 일으키는 제2 전극부; 상기 도관을 감싸며 구비되고, 상기 도관의 외주면과의 사이에 이격 공간이 형성된 하우징; 상기 도관의 표면온도, 상기 하우징의 표면온도 또는 상기 이격공간의 온도를 감지하는 온도센서; 및 상기 온도센서로부터 상기 도관의 표면온도 정보 또는 상기 하우징의 표면온도 정보 또는 상기 이격공간의 온도정보를 전송받아 상기 도관의 과열여부를 판단하고, 상기 도관의 과열 시 냉각시키는 냉각수단을 포함한다.