Gassensor mit einer feldeffekttransistorstruktur und einer sensitiven schicht umfassend aluminium dotiertes zinkoxid

Gassensor mit einer Feldeffekttransistorstruktur und dessen Herstellung zur Erfassung von Kohlendioxid in einem Gasgemisch, wobei die gassensitive Schicht des gates eine Mischung aus Zinkoxid, Aluminium und Aluminiumoxid (getempertes Aluminium dotiertes Zinkoxid) umfasst.