Temperature Effect of the Semiconducting Gas Sensor

SnO2はn型半導体酸化物で, その導電率が被検ガスに大きく影響されることを利用して, 実用ガスセンサー材料となっている. 本研究では, 被検ガスに接触したSnO2の温度が大きく変化することに着目し, この温度変化測定によるガス検知法を検討した. ビード型センサー素子の定常状態における熱収支に基づいて導出した安定状態方程式を用いて, 各種動作条件でのセンサー温度の変化を考察し, 急激な昇温が起こる異常自己加熱現象と付加昇温に対する解釈を与えることができた. 更に, 新型温度補償式ガスセンサーの設計と製作の可能性を提案した.