Reactifs a base de tantale et de niobium utilises pour des procedes de depot en phase gazeuse par procede chimique, et procede de depot de revetements les utilisant

On decrit des composes a base de tantale et de niobium pouvant s'utiliser comme reactifs de source pour le depot en phase gazeuse par procede chimique, ainsi qu'un procede qui permet de deposer des revetements contenant du niobium et du tantale a l'aide de ces composes. Ces derniers correspondent a la formule: M(OR )x(R -C(G)-CH-C(G)-R )5-x, ou M represente tantale ou niobium, G represente oxygene ou soufre et R , R et R representent independamment des groupes hydrocarbyle, fluoroalkyle ou alcoxy. Ces reactifs liquides a base de niobium et de tantale provenant des reservoirs (1) traversent une soupape (2) en direction d'une pompe a liquide de haute precision (3) qui amene la solution liquide dans une zone chaude d'evaporation (4) pour produire la vaporisation eclair des reactifs. Le reactif en phase gazeuse s'ecoule alors vers un substrate chauffe (7), enferme dans un reacteur (6), par l'intermediaire d'une conduite pour gaz (5), et il est decompose par voie thermique pour deposer sur le substrat un revetement contenant Nb ou Ta.