RESISTIVIDAD ELÉCTRICA RESIDUAL EN PÉLICULAS DELGADAS

Ha sido bien establecido que la resistividad de las peliculas, delgadas depende fuertemente de su estructura. Para entender mejor dicha influencia se comparo la resistividad residual (0°K) de peliculas obtenidas por evaporacion en vacio y por ion-plating. Las peliculas obtenidas por esta ultima tecnica se caracterizan por tener un diametro de grano menor y mayor uniformidad en tamano y forma de los granos. La resistividad residual fue determinada midiendo la resistividad a distintas temperaturas para muestras de distintos espesores. El tamano de grano se obtuvo por microscopia electronica de transmision.