EFECTO DE LA OXIDACIÓN DE SILICIO NANOPOROSO SOBRE LA EMISIÓN DE ELECTRONES SECUNDARIOS

En este trabajo se presentan resultados de espectroscopia de emision de electrones secundarios inducida por electrones, en muestras de silicio poroso nanoestructurado. Cuando se emplea un proceso adecuado de preparacion del material, el bombardeo ionico modifica en forma reversible los espectros de emision electronica. Se estudia la respuesta temporal de esta modificacion, tanto para muestras recien preparadas como para muestras sometidas a distintos tiempos de oxidacion. Se presentan resultados para muestras tanto tipo p como n parcialmente oxidadas. Cuando se utiliza silicio tipo n y se somete a las muestras anodizadas a un proceso de oxidacion por un tiempo suficientemente largo, las modificaciones inducidas por bombardeo ionico son completamente reversibles. Los resultados se interpretan en terminos de un modelo que tiene en cuenta por un lado el comportamiento de la perdida de energia de iones y electrones, que conduce a la formacion de dipolos, y por otro lado el efecto del bombardeo electronico en la composicion quimica de la superficie de la nanoestructura.