Transporteinrichtung für langgestreckte Substrate, Be- und Entladeeinrichtung und Verfahren zum Be- und Entladen der Transporteinrichtung

2007 
Transporteinrichtung zum Transport langgestreckter Substrate durch eine Vakuumbeschichtungsanlage, umfassend einen rechteckigen Rahmen (1, 5, 5a) und zwei Gruppen von Halteelementen (2), die an gegenuberliegenden Seiten des Rahmens (1, 5, 5a) drehbar so gelagert sind, dass je zwei gegenuberliegend angeordnete Halteelemente (2) mit den beiden Enden eines Substrats (4) verbindbar sind, dadurch gekennzeichnet, dass weiterhin mindestens eine Aufnahmeleiste (3) vorgesehen ist, die mit einer Gruppe von Inserts (2) so in Wirkverbindung steht, dass die Inserts (2) dieser Gruppe zur wahlweisen Vergroserung oder Verkleinerung ihres Abstands zu den Inserts (2) der anderen Gruppe verschiebbar sind.
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