Composition de gravure, procédé de gravure d'un film multicouche, et procédé de préparation de dispositif d'affichage

L'invention concerne : une composition de gravure comprenant (A) une source d'ions cuivre, (B) une source d'ions acide organique ayant un ou plusieurs groupes carboxyle dans une molecule, (C) une source d'ions fluorure, (D) un dispositif de commande de gravure, un renforcateur de pouvoir oxydant de surface ou une combinaison de ceux-ci en tant que premier additif, et (E) un tensioactif en tant que second additif ; un procede de gravure d'un film multicouche ; et un procede de preparation d'un dispositif d'affichage.