Si基Sr1.8Ca0.2NaNb5O15薄膜的合成及光学特性研究

利用溶胶-凝胶法,在Si（001）单晶衬底上逐层生长四方钨青铜结构的Sr1.8Ca0.2NaNb5O15（SCNN）薄膜。利用X射线衍射（XRD）仪、扫描电子显微镜（SEM）和原子力显微镜（AFM）等技术研究了薄膜的微结构,结果表明,SCNN薄膜在厚度较小的状态下可呈现出明显的（001）择优取向,而随着厚度的增加择优取向受到抑制,颗粒尺寸增大,薄膜的多晶态的趋势增强。然后通过测量薄膜在400～780nm光谱范围内的反射率曲线,采用Sellmeier色散公式分析折射率非均匀性的影响,通过改进的单纯形法计算拟合出SCNN薄膜的折射率和厚度,其中厚度的结果利用SEM加以验证,而折射率的变化则与薄膜结晶态的变化保持一致。