A method for determining structural features in test objects with diffuse scattering surfaces

Bei flachenhaft arbeitenden, optischen Verfahren zur Bauteilprufung werden interferometrische oder mit strukturiertem Licht arbeitende Verfahren verwendet, die die Verformung des Objektes mittels Bildverarbeitung berechnen und das Ergebnis als Phasendifferenzbild darstellen. Den strukturabhangigen lokalen Verformungen des Objektes sind dabei haufig Ganzkorperbewegungen oder sonstige nicht relevante globale Objektverformungen uberlagert, die das Erkennen von lokalen Strukturmerkmalen, insbesondere Strukturdefekten, erschweren. DOLLAR A Bei dem neuen Bildverarbeitungsverfahren wird das Phasendifferenzbild so manipuliert, das die lokalen Strukturmerkmale beseitigt sind. Dieses manipulierte Phasendifferenzbild wird vom ursprunglichen Phasendifferenzbild subtrahiert, so das im Ergebnis ein Phasendifferenzbild entsteht, welches nur noch die lokalen Verformungen aufweist. DOLLAR A In dem resultierenden Phasendifferenzbild ist es nun sehr viel leichter moglich, Strukturmerkmale, insbesondere Strukturdefekte, zu erkennen, da die storende Uberlagerung von globalen Verformungen beseitigt ist.