Single axis light pipe for homogenizing an axis of illumination system based on a laser diode

半導体ウエハを熱処理するための装置は、スロー（低速）軸に沿って延長する複数の平行列に配列された半導体レーザエミッタのアレイと、上記スロー（低速）軸と全体として直交するファースト（高速）軸に沿って上記各列からの光をコリメートするため上記レーザエミッタの列の各々の上に重なる複数の個々の円柱レンズと、上記複数の円柱レンズからの光を受けるための入力面を第１の端部に有し且つ反対側の端部に出力面を有する均質化光パイプであって、上記入力面と上記出力面との間に延長して上記スロー（低速）軸の方向に沿って互いに分離した１対の反射壁部を備えるような均質化光パイプと、上記均質化光パイプから放出される光を、上記ファースト（高速）軸と平行な走査方向において上記ウエハに亘って走査させるた の走査装置とを含む。 【選択図】 図３