10nmテクノロジーノード以降のパターンマッチングによる自己整合型ダブルパターニング(SADP)対応レイアウト設計の最適化

2016 
    • Correction
    • Source
    • Cite
    • Save
    • Machine Reading By IdeaReader
    0
    References
    0
    Citations
    NaN
    KQI
    []