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10nmテクノロジーノード以降のパターンマッチングによる自己整合型ダブルパターニング(SADP)対応レイアウト設計の最適化
10nmテクノロジーノード以降のパターンマッチングによる自己整合型ダブルパターニング(SADP)対応レイアウト設計の最適化
2016
Wang Lynn T.-N.
Schroeder Uwe Paul
Woo Youngtag
Zeng Jia
Madhavan Sriram
Capodieci Luigi
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