Pumping speed measurement of turbomolecular pumps by a quasistationary pump‐down method

The pumping speed of a turbomolecular pump is usually measured by injecting a stationary known gas flow via a standardised test dome into the pump and measuring the equilibrium pressure in the test dome. The ratio of gas throughput and pressure is just the pumping speed. In practice, the pressure can be conveniently and accurately measured, whereas the convenient and accurate throughput measurement is a challenging experimental problem. The present paper reports on a new method for measuring the pumping speed in which the throughput is generated by the pumping down of a vessel via an orifice. From the decrease of vessel pressure with time, and from known vessel volume, the throughput can be directly and accurately derived. Exploring measurements by the new method in fact give high accuracy, systematical error sources are practically negligible. Saugvermogensmessung an Turbomolekularpumpen mittels quasi-stationarem Abpumpverfahren Das Saugvermogen einer Turbomolekularpumpe wird bekanntlich dadurch ermittelt, das ein stationarer, bekannter Gasstrom uber einen genormten Mesdom in die Pumpe einstromt und der sich im Mesdom einstellende Gleichgewichtsdruck gemessen wird. Der Quotient aus pV-Gasdurchflus und Druck gibt gerade das Saugvermogen. In der Praxis kann der Druck bequem und genau gemessen werden, wahrend jedoch die bequeme und genaue Durchflusmessung ein herausforderndes experimentelles Problem ist. In der vorliegenden Arbeit wird uber ein neues Verfahren zur Messung des Saugvermogens berichtet, bei dem der Gasstrom dadurch erzeugt wird, das ein Behalter uber eine Drosselblende abgepumpt wird. Aus der zeitlichen Abnahme des Behalterdrucks kann bei bekanntem Behaltervolumen der Durchflus auf direkte Weise genau ermittelt werden. Die Erprobung der neuen Methode ergibt in der Tat eine hohe Genauigkeit, systematische Fehlerquellen sind praktisch vernachlassigbar.