ナノインプリント用組成物、パターン形成方法、エッチングレジストおよび永久膜

【課題】基材密着性、モールド剥離性およびエッチング耐性に優れるナノインプリント用組成物を提供する。 【解決手段】多環芳香族構造を有する繰り返し単位（ａ）を含む樹脂を含有することを特徴とするナノインプリント用組成物。（ａ）が下記一般式で表されることを特徴とする。 ［式中、Ｒ1は水素原子、置換していてもよいアルキル基またはハロゲン原子を表し、Ｘは単結合または有機連結基を表し、Ｌは置換基を有していてもよい多環芳香族基を表す。］ 【選択図】なし