リソグラフィ装置、デバイス製造法、及びそれによって製造されるデバイス

【課題】物品保持器のウェーハ支持体の不均一問題が対処され、かつ物品が制御可能な方式で水平化される、前文にしたがうリソグラフィ装置を提供すること。 【解決手段】放射の投影ビームを供給するための照射システムと、前記放射の投影ビームのビーム経路中に配置すべき実質的に平坦な物品を支持するための支持体の平坦面を提供するように配置された突起構成を画定する複数の突起を含む物品保持器を備え、この物品保持器は、物品を物品保持器に対してクランピングするために、静電クランピング力を生成するための少なくとも１個のクランピング電極を含む、リソグラフィ投影装置。本発明によれば、前記少なくとも１個のクランピング電極は、前記基板の局所的な高さのばらつきを水平化するために、前記静電クランピング力を局所的に変更する電界変更構造を備える。 【選択図】図４