Procede pour allonger le temps entre les processus de nettoyage de chambre

L'invention concerne un procede pour allonger le temps entre les processus de nettoyage de chambre dans une chambre de traitement (10, 102) d'un systeme de traitement (1, 100). Selon ce procede, un film (502, 602, 608, 706), reduisant la formation de particules, est forme sur un composant de chambre (300, 500, 600, 700) dans la chambre de traitement (10, 102) pour reduire la formation de particules dans cette derniere (10, 102) pendant le traitement du substrat; au moins un substrat (40, 110) est introduit dans la chambre de traitement (10, 102); une operation de fabrication est realisee dans la chambre de traitement (10, 102), et le ou les substrats (40, 110) sont retires de la chambre de traitement (10, 102); le film de reduction de formation de particules (502, 602, 608) peut etre depose sur un composant de chambre propre (300, 500, 600) ou sur un depot de matiere (302, 604) forme sur un composant de chambre (300, 500, 600, 700). En variante, le film de reduction de formation de particules (706) peut etre forme par modification chimique d'au moins une partie du depot de matiere (702) sur un composant de chambre (700). Le film de reduction de formation de particules (502, 602, 608, 706) peut etre forme apres chaque operation de fabrication ou a des intervalles selectionnes apres plusieurs operations de fabrication.