Substrate evaluating device, method for evaluating substrate using the same
2013
기판 평가 장치, 및 이를 이용한 기판 평가 방법이 제공된다. 기판 평가 장치는 기판이 수납되는 기판 저장부, 기판 저장부 안에 배치되어 기판의 일측 및 타측과 체결되는 제1 체결부 및 제2 체결부, 제1 체결부 또는 제2 체결부를 구동시키는 구동부, 기판에 전기적 신호를 인가하여 기판의 전기적 특성을 측정하는 측정부를 포함한다.
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