실리콘 나노 와이어를 이용한 바이오 센서, 실리콘 나노 와이어를 이용한 바이오 센서의 제조방법 및 상기 바이오 센서를 이용한 특정 세포 검지 방법

종래의 탄소 나노튜브와 같은 나노튜브를 이용한 바이오 센서가 갖는 문제점을 해결하여, 화학적으로 안정하고, 감도가 우수한 나노 소자를 이용한 바이오 센서가 제공된다. 본 발명에 따른 바이오 센서는 기판, 상기 기판의 일부에 형성된 적어도 하나의 외부 전극, 상기 기판의 다른 일부에 형성된 Si 나노 와이어, 상기 Si 나노 와이어의 일 단부와 상기 기판의 또 다른 일부에 형성된 소스 전극, 상기 Si 나노 와이어의 나노 와이어가 형성된 면의 반대면의 일부에 형성된 드레인 전극, 및 상기 기판의 또 다른 일부에 형성된 게이트 전극을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 바이오 센서는 MMP-9과 펩타이드의 결합을 확인하여 암의 진단에 활용할 수 있고, 항원-항체 반응, DNA-DNA 교잡(hybridization), DNA-단백질 결합 감지 등에 적용하여 유전질환, 암의 조기 진단 등에도 이용할 수 있다. 센서, 나노 소자, Si 나노 와이어, 펩타이드, 바이오틴, 게이트 전극