Verfahren zur Herstellung eines monolithischen Vielschichtaktors, monolithischer Vielschichtaktor aus einem piezokeramischen oder elektrostriktiven Material

2002 
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines monolithischen Vielschichtaktors, einen entsprechenden Vielschichtaktor sowie eine Ausenkontaktierung fur einen monolithischen Vielschichtaktor. Erfindungsgemas sind entlang der Stapellangsachse des Aktors im wesentlichen parallel zu den Innenelektroden, von diesen beanstandet, im Bereich der mindestens zwei gegenuberliegenden Ausenflachen, zu denen die an sich bekannten Innenelektroden herausgefuhrt sind, gezielt Mikrostorungen im Aktorgefuge eingebaut, welche fruhestens beim Polarisieren des Aktors einen vorgegebenen, begrenzten, spannungsabbauenden Wachstum in das Innere und/oder zur Ausenelektrode unterliegt, wobei weiterhin die Grundmetallisierung und/oder Ausenkontaktierung mindestens im Bereich der Mikrostorungen im Aktorgefuge dehnungsresistent oder elastisch ausgebildet ist.
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