含フッ素単量体、含フッ素高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法

【課題】優れた透明性を有し、現像欠陥の極めて少ない感放射線レジスト材料の添加剤用樹脂を製造するための単量体を提供する。 【解決手段】一般式（１）で示される含フッ素単量体。 【選択図】なし