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TiN薄膜の残留応力制御及び機械的性質研究【JST・京大機械翻訳】
TiN薄膜の残留応力制御及び機械的性質研究【JST・京大機械翻訳】
2017
Qiu Longshi
Qiao Guanlin
Ma Fei
Xu Kewei
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