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モンテカルロ法によるイオン化スパッタシミュレーション : 第1報,Cu埋め込み形状の再現(流体工学,流体機械)
モンテカルロ法によるイオン化スパッタシミュレーション : 第1報,Cu埋め込み形状の再現(流体工学,流体機械)
2004
osamu yamazaki
sigeyuki takagi
katu i yanagi
kazuya kinosita
kouiti mase
kazuyuki yahiro
ken'iti nanbu
Keywords:
Computational chemistry
Computational physics
Numerical analysis
Plasma
Monte Carlo method
Chemistry
Atomic physics
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