カーボン・ナノチューブを形成する方法、フィルタ、露光システム（化学的に修飾されたカーボン・ナノチューブ構造を含む化学的微粒子フィルタ）

【課題】カーボン・ナノチューブ・フィルタ、カーボン・ナノチューブ・フィルタの使用法およびカーボン・ナノチューブ・フィルタを形成する方法を提供すること。 【解決手段】この方法は、（ａ）炭素源およびカーボン・ナノチューブ触媒を用意するステップと、（ｂ）炭素源をナノチューブ触媒と反応させることによってカーボン・ナノチューブを成長させるステップと、（ｃ）カーボン・ナノチューブの上に化学的に活性の層を形成し、またはカーボン・ナノチューブの側壁に化学的に反応性の基を形成することによって、化学的に活性のカーボン・ナノチューブを形成するステップと、（ｄ）化学的に活性のナノチューブをフィルタ・ハウジングの中に配置するステップとを含む。 【選択図】図３０