ИЗМЕРЕНИЕ РАЗМЕРОВ ЭЛЕМЕНТОВ НАНОРЕЛЬЕФА ТЕСТОВОЙ СТРУКТУРЫ НА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ МЕТОДОМ РАСТРОВОЙ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ

Предложен способ измерения размеров элементов нанорельефа на поверхности кремния, имеющих профиль с формой трапеции, в растровом электронном микроскопе при условии близости эффективного диаметра его электронного пучка и минимального размера участка элемента этой структуры. Продемонстрированы результаты измерений верхних оснований выступов тестовой структуры в диапазоне от 14 до 24 нм. Предложенный способ может использоваться при ускоряющем напряжении более 15 кВ.