埋め込み配線の形成方法、及び、基体処理装置

(57)【要約】 【課題】高い信頼性を有し、配線に損傷や断線が発生す ることがなく、また、配線間を埋め込む絶縁膜にも損傷 が発生することがなく、配線間を絶縁材料で確実に埋め 込むことができる埋め込み配線の形成方法を提供する。 【解決手段】埋め込み配線の形成方法は、（Ａ）基体１ １上に、配線３３、及び、配線３３間を埋め込む第１の 絶縁膜３３を形成する工程と、（Ｂ）第１の絶縁膜３４ を流体４１中に溶解させる工程と、（Ｃ）配線３３を気 体に接触させることなく、流体４１を、第２の絶縁膜形 成原料を含む原料溶液４３で置換する工程と、（Ｄ）原 料溶液中でゲル化した第２の絶縁膜４４で、少なくとも 配線３３間を充填した後、原料溶液を乾燥させ、以て、 少なくとも配線３３間に第２の絶縁膜３５を形成する工 程を備えている。