埋め込み配線の形成方法、及び、基体処理装置
2000
(57)【要約】
【課題】高い信頼性を有し、配線に損傷や断線が発生す ることがなく、また、配線間を埋め込む絶縁膜にも損傷 が発生することがなく、配線間を絶縁材料で確実に埋め 込むことができる埋め込み配線の形成方法を提供する。
【解決手段】埋め込み配線の形成方法は、(A)基体1 1上に、配線33、及び、配線33間を埋め込む第1の 絶縁膜33を形成する工程と、(B)第1の絶縁膜34 を流体41中に溶解させる工程と、(C)配線33を気 体に接触させることなく、流体41を、第2の絶縁膜形 成原料を含む原料溶液43で置換する工程と、(D)原 料溶液中でゲル化した第2の絶縁膜44で、少なくとも 配線33間を充填した後、原料溶液を乾燥させ、以て、 少なくとも配線33間に第2の絶縁膜35を形成する工 程を備えている。
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