척 플레이트를 이용한 마스크 얼라인 시스템

본 발명은 반도체 또는 디스플레이 소자 등을 제작하는 공정에서 기판과 마스크를 얼라인 하는 장치와 그 운용 방식에 관한 것으로, 종래 마스크를 UVW 모션으로 얼라인 하는 것은 척 플레이트를 이용하는 대면적 기판에 대해 그대로 적용하기에는 무리가 있어 이를 개선하기 위해 안출된 것이다. 본 발명에 따르면, 대면적 기판을 척 플레이트에 부착한 상태에서 척 플레이트를 로봇 팔로 된 후크로 상승 또는 하강시키면서, 척 플레이트를 UVW 모션으로 수평 및 수직 위치를 바로잡아 척 플레이트와 마스크를 얼라인 하여 간편하고도 정밀한 얼라인이 될 수 있다.