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Acemap > Paper > AlGaN/GaN HFETs 에 적용하기 위한 RF 반응성 스퍼터링 질화알루미늄 박막에 관한 연구

AlGaN/GaN HFETs 에 적용하기 위한 RF 반응성 스퍼터링 질화알루미늄 박막에 관한 연구

2018 
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