Mems 기반 필름형 프로브용 베이스 필름의 표면 개질 방법 및 이를 이용한 디스플레이 검사용 mems 기반 필름형 프로브 제조 방법

MEMS 기반 필름형 프로브 제조를 위한 MEMS 공정시 베이스 필름의 표면 변형을 방지할 수 있는 MEMS 기반 필름형 프로브용 베이스 필름의 표면 개질 방법 및 이를 이용한 디스플레이 검사용 MEMS 기반 필름형 프로브 제조 방법에 대하여 개시한다. 본 발명에 따른 MEMS 기반 필름형 프로브용 베이스 필름의 표면 개질 방법은 베이스 필름의 일면 또는 양면을 플라즈마 처리하는 단계; 및 상기 플라즈마 처리된 베이스 필름 표면에 UV경화 또는 열경화가 가능한 수지 조성물을 도포하고 건조 및 숙성한 후, UV경화 또는 열경화를 진행하여 상기 플라즈마 처리된 베이스 필름의 일면 또는 양면에 지지층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.