РАЗРАБОТКА И ОПТИМИЗАЦИЯ ТЕХНОЛОГИИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КООРДИНАТНО-ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ДЕТЕКТОРОВ БОЛЬШИХ РАЗМЕРОВ

Описываются результаты разработки и оптимизация технологии изготовления полупроводниковых позиционно-чувствительных детекторов рентгеновского излучения больших размеров для томографических и экологических задач на основе Si(Li)-p–i–n-структур. Изготовлены детекторы с размерами чувствительной области 50 ? 50 ? 2 мм с 8, 16 и 32 стрипами. Энергетическое разрешение при напряжении 100–500 В составляет 50 и 75–80 кэВ для электронов с энергией 1 МэВ и -частиц с энергией 7.65 МэВ соответственно при темновом токе 0.5–1 мкА, емкости 300 пФ и шуме 40 кэВ.