Zn1-xMgxO薄膜的溶胶-凝胶法制备与光学性质分析

以二水合乙酸锌和四水合乙酸镁为主要原料，石英玻璃为基片，采用溶胶-凝胶法结合旋涂工艺制备Zn1-xMgxO薄膜（x=0,0．1、0．2、0．3）．用XRD和分光光度计分别测量薄膜的晶体结构和透射光谱，并对所得谱线进行分析．XRD分析表明，所制备的薄膜仍保持氧化锌的六角纤锌矿结构，未发现形成MgO杂相；Zn0.7Mg0.3O薄膜沿（002）晶面具有一定的择优取向，Md2＋离子替代Zn2＋离子进入ZnO晶格，使晶格常数发生变化；随Mg2＋离子掺杂浓度的增加，系列样品（002）晶面衍射峰半高宽增大，平均晶粒尺寸递减，（002）晶面的晶面间距略微减小．透射光谱分析表明，随掺杂浓度增高，薄膜在可见光区域内的透光率增大，光学带隙依次增大．