반도체 장치의 패턴 배치 방법

반도체 장치의 패턴 배치 방법을 제공한다. 이 방법은 패턴을 유효피치 및 선폭으로 분류하고 공정변수에 대한 통계적분석법을 이용하여 유효피치 및 선폭에 따른 패턴의 산포를 예측하는 단계를 포함한다. 상기 예측된 산포는 유효피치와 선폭의 이차원 좌표를 구성하여 해당 좌표에 배열되어 산포맵을 구성한다. 산포맵에서 허용 영역에 위치하도록 설계 패턴을 배치함으로써 레이어의 중요도 및 설계에 요구에 따른 허용 산포를 만족하도록 패턴을 배치할 수 있다. 반도체, 패턴, 피치, 산포, 디자인룰