ネガ型感光性樹脂組成物、感光性レジストフィルム、パターン形成方法、硬化膜、硬化膜の製造方法

エポキシ基含有樹脂と、金属酸化物と、カチオン重合開始剤（Ｉ）とを含有するネガ型感光性樹脂組成物。カチオン重合開始剤（Ｉ）は、一般式（Ｉ１）で表される化合物、及び一般式（Ｉ２）で表される化合物からなる群より選ばれる１種以上を含むことを特徴とする。式（Ｉ１）中、Ｒ ｂ０１ ～Ｒ ｂ０４ は、置換基を有していてもよいアリール基、又はフッ素原子である。式（Ｉ２）中、Ｒ ｂ０５ は、置換基を有していてもよいフッ素化アルキル基、又はフッ素原子である。複数のＲ ｂ０５ は、互いに同一でもよく異なっていてもよい。ｑは１以上の整数であり、Ｑ ｑ＋ はｑ価の有機カチオンである。