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20311 電場により形成されるナノダイヤモンドブラシの基本特性(OS3 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS)(4),オーガナイズドセッション)
20311 電場により形成されるナノダイヤモンドブラシの基本特性(OS3 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS)(4),オーガナイズドセッション)
2010
hiromiti kohara
sin'iti tasiro
Keywords:
Nanoelectromechanical systems
Dielectric
Nanotechnology
Materials science
Microelectromechanical systems
Dielectrophoresis
Polishing
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