水在β-氮化硅（0001）面吸附的密度泛函理论研究

采用密度泛函理论（DTF）的B3LYP方法对H2O在β-Si3N4（0001）面上的吸附进行研究，采用原子簇模拟β-Si3N4（0001）表面，在6-31G^＋水平上计算常温常压下H2O分子在β-Si3N4（0001）表面的吸附构型和吸附能及电荷变化，同时考察温度，压强及预吸附BH3对吸附体系的影响，结果表明：H2O分子通过H原子吸附在β-Si3N4（0001）面的N原子顶位时最有利；当温度为100℃，压强分别为3×10^5-10×10^5Pa时，吸附能为189.59kJ/mol，与常温常压体系相比，吸附能增加了57.19kJ/mol，吸附后O-H键拉长，可能发生解离；在BH3修饰的β-Si3N4（0001）表面上，由于预吸附导致吸附能减少。