ВЛИЯНИЕ ОТЖИГА НА СТРУКТУРУ И СВЧ-МАГНИТНЫЕ СВОЙСТВА ОДНОСЛОЙНЫХ И МНОГОСЛОЙНЫХ ПЛЕНОК РАЗЛИЧНОГО СОСТАВА

Исследовано влияния отжига на структуру и СВЧ-магнитные свойства композитных однослойных и многослойных пленок. Обнаружено, что при достижении пороговой температуры отжига, которая зависит от соотношения концентраций металлического сплава и диэлектрика, происходит резкое увеличение ширины линии ФМР. Показано, что уширение линии ФМР также связано с возникновением и ростом высокочастотных мод поглощения. Проведены исследования поверхности отожженных и неотожженных пленок при различной концентрации металлических сплавов и диэлектриков при помощи атомно-силового микроскопа. Сильное изменение магнитных характеристик после отжига пленок связано с изменением шероховатости и неоднородностей поверхности, с изменением распределения по размерам нано- и субмикронных образований и расстояний между ними.