Précurseur liquide pour le dépôt du séléniure d'indium et procédé de préparation correspondant

2011 
L'invention concerne des precurseurs liquides contenant de l'indium et du selenium adaptes pour le depot sur un substrat, afin de former des films minces adaptes pour des applications de semi-conducteurs. L'invention concerne egalement des procedes de preparation de ces precurseurs liquides et un procede de depot d'un precurseur liquide sur un substrat.
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