반도체 초고온 박막공정을 위한 저열전도도 특성을 갖는 질화알루미늄 히터용 샤프트 및 이의 제조방법

본 발명은 반도체 초고온 박막공정을 위한 저열전도도 특성을 갖는 질화알루미늄 히터용 샤프트 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 상부와 하부가 각각 개방되고 내부가 빈 중공구조를 가지며, 상부의 직경이 상단으로 갈수록 점점 커지는 직선 형태의 경사구조를 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정용 히터 샤프트를 제공한다.