Laminate, and abrasive and abrasive using the same, and method of forming the laminate

2007 
炭素膜のもつ基材への高い密着性、硬度、および表面平坦性を利用し、ダイヤモンド砥粒やアルカリスラリーなどを用いることなく、ダイヤモンド、サファイヤ、硬質炭素膜などの硬度の高い材料表面を高速かつ簡便に、高い平坦性および精度で研磨、研削が可能な積層体を提供するものであって、基材と、該基材上に設けられた炭素層とを備え、前記炭素層は、前記基材に設けられ衝撃を与えられて粉砕されたダイヤモンド微粒子と、炭素粒子の成長を阻害する不純物の生成を抑制し及び又は炭素粒子の成長を抑制する生成・成長抑制材と、炭素粒子とを備え、該生成・成長抑制材の量(単位体積当りの量)は、前記基材側の下部層から上部層に向かって減少することを特徴とする積層体であり、好ましくは、前記生成・成長抑制材が、S O 2 材又はAl 2 O 3 材であり、さらに、前記基板と炭素層との間には、チタン又はチタン合金等からなる密着強化層を設けることもできる。
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