Mise au point de miroirs multicouches aux caractéristiques bien déterminées pour l'élaboration d'une optique X-UV à haute performance

Le travail presente s'inscrit dans le cadre de la realisation d'une instrumentation optique a haute performance adaptee a la spectroscopie x-uv. Une assimilation complete des techniques de conception et de caracterisation des miroirs multicouches nous a permis d'evaluer la faisabilite de structures particulieres aux applications importantes pour la spectroscopie x-uv. Une etude de l'influence du nombre de paires sur les qualites optiques des multicouches a ete menee afin de mettre en evidence les limitations experimentales dans la realisation d'empilements epais destines au developpement de reseaux multicouches graves. Parallelement, des echantillons a grand nombre de paires, aux coefficients de reflexion notables et aux qualites spectroscopiques satisfaisantes ont ete elabores. Les structures a variation laterale d'epaisseur permettent de s'affranchir des contraintes d'utilisation des multicouches x-uv dues a leurs conditions de fonctionnement (reflexion selective de bragg). Nous avons montre comment la geometrie de notre bati de pulverisation peut engendrer une telle variation. A l'issue d'une procedure d'etallonnage, nous avons adapte cette technique aux etalons de perot-fabry x-uv (pf x-uv). Des considerations theoriques sur le calcul du coefficient de finesse et du pouvoir de resolution des pf x-uv ont ete developpees. Enfin, differents pf a variation laterale de periode ont ete concus, caracterises et calibres. Nous terminons par l'etude complete d'une multicouche a variation laterale de parametre de division permettant selon les applications la suppression d'ordres de bragg indesirables. La technique de realisation et la determination de la loi de calibration experimentale ont ete developpees