표시 기판 및 이의 제조 방법

2010 
표시 기판은 게이트 라인, 데이터 라인, 게이트 절연층, 박막 트랜지스터 및 화소 전극을 포함한다. 게이트 라인은 베이스 기판 위에 제1 방향으로 연장된다. 데이터 라인은 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장된다. 게이트 절연층은 게이트 라인 및 게이트 전극 위에 형성된다. 박막 트랜지스터는 게이트 라인과 전기적으로 연결된 게이트 전극, 인듐을 포함하는 산화물을 포함하는 제1 반도체 패턴 및 인듐-프리 산화물을 포함하는 제2 반도체 패턴을 포함하는 산화물 반도체 패턴, 및 산화물 반도체 패턴 위에 서로 이격 배치된 소스 및 드레인 전극들을 포함한다. 화소 전극은 드레인 전극과 전기적으로 연결된다. 이에 따라, 산화물 반도체 패턴에 포함된 원소가 석출되는 것을 방지할 수 있으므로, 박막 트랜지스터의 전기적 특성을 향상시킬 수 있다.
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