Ameliorations apportees a l'utilisation d'agents de silyation

L'invention concerne des ameliorations apportees a l'utilisation d'agents de silyation dans le traitement de semiconducteurs. Plus precisement, les agents de silyation peuvent etre combines a un ether essentiellement non inflammable de maniere que la combinaison soit essentiellement non inflammable. Par ailleurs, les agents de silyation peuvent etre employes sous forme de vapeur ou appliques en association avec le rayonnement electromagnetique. Tous ces modes de realisation permettent d'ameliorer l'utilisation des agents de silyation en les rendant plus surs, plus simples d'utilisation dans une diversite d'equipements de traitement et/ou en ameliorant leur pouvoir de passivation.