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Ar/N 2 /O 2 プラズマを用いた低リーク電流ゲート酸窒化膜の形成
Ar/N 2 /O 2 プラズマを用いた低リーク電流ゲート酸窒化膜の形成
2004
akamatu yasuhiko
kawase kazumasa
tuzikawa makoto taira
umeda kouzi
oono yosikazu
yoneda masahiro
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