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大気圧での閉ループ振動制御によるパラメトリック駆動MEMS共振器【Powered by NICT】
大気圧での閉ループ振動制御によるパラメトリック駆動MEMS共振器【Powered by NICT】
2016
Mingliang Song
Bin Zhou
Zhiyong Chen
Hongbo Wang
Tian Zhang
Rong Zhang
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