酸化亜鉛薄膜の製造方法、それを用いた光起電力素子の製造方法、及び光起電力素子

(57)【要約】 【課題】 低コスト化に有利な電解析出法により、光閉 じ込め効果のあるテクスチャー構造の薄膜を短時間で形 成でき、堆積膜の異常成長を防止でき、成膜面の均一性 及び密着性に優れていて、光起電力素子の積層構造へ適 用することで、光電特性を向上できて量産性を高め得る 酸化亜鉛薄膜の形成方法を提供する。 【解決手段】 導電性基体２０３を負電極とし、当該導 電性基体２０３と対向電極２０４とを、硝酸イオン及び ０．０５ｍｏｌ／ｌ以上の亜鉛イオンを含有する水溶液 ２０２に浸漬して電流を通電することにより、前記導電 性基体２０３上に、水溶液から酸化亜鉛を電気化学的に 析出させて薄膜を形成する酸化亜鉛薄膜の製造方法にお いて、薄膜を形成する電解析出反応の途中で少なくとも １回成膜速度を変化させる。