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TDMATを用いたALD-TiNの熱処理効果およびゲート電極材料への応用 | 文献情報 | J-GLOBAL 科学技術総合リンクセンター
TDMATを用いたALD-TiNの熱処理効果およびゲート電極材料への応用 | 文献情報 | J-GLOBAL 科学技術総合リンクセンター
2009
hayasida teturou
endou kazuhiko
Y.X. Liu
kamei takahiro
matukawa takasi
oouti sin'iti
sakamoto kunihiro
tukada jun'iti
isikawa yuki
yamauti hiromi
ogura atusi
masa hara meisyoku
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