Solubilite ajustable dans des couches sacrificielles pour microfabrication
2006
L'invention concerne des procedes de fabrication utilisant des materiaux sacrificiels comprenant des polymeres. Dans certaines formes d'execution, le polymere peut etre traite pour alterer sa solubilite par rapport a au moins un solvant (par exemple, une solution aqueuse) utilise dans le procede de fabrication. La preparation des materiaux sacrificiels est rapide et simple, et la dissolution du materiau sacrificiel peut etre effectuee dans des environnements moderes. Les materiaux sacrificiels de la presente invention peuvent etre utilises pour le micro-usinage des surfaces, le micro-usinage en volume, et autres procedes de microfabrication dans lesquels une couche sacrificielle est employee pour produire une structure selectionnee et physiquement correspondante.
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