28.4nm和30.4nm波段的C/Si多层膜

对于宇宙的探讨，特别是对太阳大气层的研究，用Ｘ射线、极紫外及远紫外波段望远镜来观测。我们报道了一种新的材料组合Ｃ／Ｓｉ用于２８．４ｎｍ（４３．６５ｅｖ）和３０．４ｎｍ（４０．７８ｅＶ）波段的多层膜反射镜，并且用离子束溅射装置制备了正入射条件下的Ｃ／Ｓｉ多层反射镜。同时我们用软Ｘ射线反射计测量了其反射率，在正入射条件下测得最大反射率达１４％（３０．４ｎｍ）